Fertigungsverfahren für Mikroprozessoren

EMPA beteiligt sich an internationaler Nano-Forschung

Uhr | Aktualisiert
von Coen Kaat

Die Eidgenössische Materialprüfungs- und Forschungsanstalt (EMPA) arbeitet mit 21 Universitäten, Forschungsinstituten und Unternehmen zusammen an neuen Nanotechnologien. Im Mittelpunkt stehen neue Fertigungsverfahren etwa für Mikroprozessoren.

(Quelle: Fotolia)
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Die Eidgenössische Materialprüfungs- und Forschungsanstalt (EMPA) beteiligt sich an einem internationalen Projekt im Bereich Nanotechnologie namens ELENA. Die Abkürzung steht für "Low energy electron-driven chemistry for the advantage of emerging nanofabrication methods", wie EMPA mitteilt.

Im Mittelpunkt stehen zwei Fertigungsverfahren: Die elektronenstrahlinduzierte Abscheidung (Focused Electron Beam Induced Deposition, kurz FEBID) und die Extrem-Ultraviolett-Lithographie (EUVL).

Bei beiden Verfahren geht es darum, Produkte von nur wenigen Nanometern Grösse in jeder gewünschten Form herzustellen. Sie werden etwa bei der Produktion von Mikroprozessoren verwendet. Die EMPA erforscht laut Mitteilung Materialien, welche sich für die Prozesse eignen.

EU investiert vier Millionen Euro

Das Projekt ist Teil des Marie-Curie-Trainingsnetzwerks. Ziel ist es gemäss Mitteilung, Europas Nachwuchswissenschaftler im Bereich Nanotechnologie auszubilden. Das Netzwerk erhält Unterstützung von der EU. In den kommenden vier Jahren stellt sie rund vier Millionen Euro zur Verfügung.

Im Rahmen des Projekts arbeitet die Anstalt mit 13 Universitäten, drei Forschungsinstituten und fünf Unternehmen aus 13 Ländern zusammen.

Webcode
DPF8_21200

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